超精密加工，是一種固結(jié)磨粒壓力進(jìn)給的一種精整加工方法，這種超精密加工，能夠?qū)⑽⒓?xì)磨粒以及低強(qiáng)度結(jié)合劑制成油石加壓在需要加工的工件表面。

　　在工件與油石所接觸的表面，加注大量的適當(dāng)粘度的油液，在超精密加工中的軌跡是正弦曲線，是有利于保持磨粒的尖銳，降低表面的形狀誤差，一般能夠在較短 的時間內(nèi)達(dá)到鏡面效果，在平面研磨拋光機(jī)低速進(jìn)給加工中，由于變質(zhì)層較小，能夠獲得工件表面比較高的耐蝕性以及耐磨性表面。

　　適當(dāng)?shù)慕M合不同的油石形狀以及相對運(yùn)動的形式，能夠適用于各種外圓、平面等加工。

　　超精密加工的機(jī)理有幾個階段。對超精密加工油石的時候加壓大多數(shù)的壓力以及空氣壓力，超精密加工表面一般會經(jīng)過精密磨削，達(dá)到一定的表面粗糙度。

　　1、強(qiáng)烈的切削階段，工件表面粗糙度與油石相接觸的時候，其接觸的應(yīng)力較大，奇偶瑟吉歐，平常繼續(xù)哦啊么破碎自銳現(xiàn)象。

　　2、進(jìn)入正常的加工階段，工件粗糙層表面被磨除，表面會附著一層黑色。

　　3、工件在研磨過程中，磨粒的自銳會減少，切屑氧化物開始嵌入空隙中，會出現(xiàn)堵塞氣孔，使磨粒的切削能力降低，工件表面粗糙度會出現(xiàn)下降，黑色切屑會附著在工件表面。

　　4、油石與工件之間進(jìn)行相互摩擦較為光滑，接觸面積加大，磨粒不能與工件接觸，會形成油膜，根據(jù)超精密加工，需要選擇正確的參數(shù)，為了提高超精密加工的效率以及質(zhì)量，需要分為粗磨以及精磨。