雙面拋光機(jī)廠家與您分享超精密雙面拋光加工的原理

　　深圳市海德精密機(jī)械有限公司專業(yè)致力于超精密研磨拋光設(shè)備及相關(guān)耗材的自主經(jīng)營。海德一直定位于研磨整體解決方案供應(yīng)商角色。公司緊跟市場需求，可向客戶提供平面研磨拋光機(jī)，雙面研磨拋光機(jī)等系列產(chǎn)品及耗材。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于超硬材料精密工具加工以及半導(dǎo)體硅晶片、光學(xué)玻璃、陶瓷、液晶、手表玻璃、寶石、各種法蘭、閥片、密封件、刀片等金屬及非金屬的零部件;同時(shí)海德?lián)碛袕?qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，可根據(jù)客戶要求設(shè)計(jì)及制作高自動(dòng)化的非標(biāo)設(shè)備以滿足生產(chǎn)需求海德研磨作為雙面拋光機(jī)廠家憑借多年的經(jīng)驗(yàn)與您分享超精密雙面拋光加工的原理：

　　超精密雙面拋光加工應(yīng)用化學(xué)機(jī)械拋光(cNrn)技術(shù)，靠工件、磨粒、拋光液及拋光盤的力學(xué)作用，在工件的拋光過程中，產(chǎn)生局部的高溫和高壓，從而使直接的物理化學(xué)變化直接發(fā)生在工件與磨粒、拋光液及拋光盤之間，導(dǎo)致工件的表面產(chǎn)生物理化學(xué)變化的反應(yīng)物。由于力學(xué)作用與化學(xué)作用的重迭，使得工件表面的反應(yīng)物不斷被磨去，從而使工件表面平滑化[[2]。雙面拋光技術(shù)是在單面拋光加工技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，由于它在薄片工件的加工過程中能有效地避免應(yīng)力差與粘結(jié)誤差引起的變形問題。

　　因此與單面拋光加工相比，雙面拋光具有加工效率高，表面變形小，易獲得超光滑加工表面的優(yōu)點(diǎn)。

　　一般的超精密雙面拋光系統(tǒng)是由承載工件和下拋光盤的工作臺(tái)、施加載荷的上拋光盤、帶動(dòng)工件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的行星輪以及供給拋光液的裝置四大構(gòu)件組成，系統(tǒng)構(gòu)造如圖2-1所示。在雙面拋光的過程中，由于拋光液與拋光墊之間的物理運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)致拋光液內(nèi)部的化學(xué)溶液以及磨粒于工件產(chǎn)生化學(xué)變化，同時(shí)在上拋光盤對(duì)工件的旋轉(zhuǎn)壓力的作用下，使工件表面產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)物得到切除。其原理就是，在不斷的化學(xué)變化中工件表面生成一種化學(xué)膜，同時(shí)由于旋轉(zhuǎn)機(jī)械摩擦切除作用去除這一層化學(xué)膜，在不停地交替中獲得超精密表面，這種超精密表面加工也被稱為游離磨料的CMP。在這種加工中，不能選用比工件硬度高地磨粒，只能選用硬度比工件軟或是與之相當(dāng)?shù)哪チ?。在機(jī)械與化學(xué)的雙重作用下，工件表面不斷生成一層極薄的化學(xué)膜，同時(shí)又被切除，達(dá)到極薄表面的加工，所以可以實(shí)現(xiàn)高精度、低表面粗糙度、無表面加工缺陷的工件表面。

　　文章關(guān)健字：雙面拋光機(jī)、超精密雙面拋光加工

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